反距离加权插值法是一种加权平均法。可以精确或者平滑插值。用反距离加权插值过程中，数据根据距离进行加权，距离越远，权值越小，对插值的影响越小。
通常情况下，反距离权的行为作为一个精确的内插器。计算插值时，分配给所有样本点的权重的总和等于1。当一个特定的观察是一个插值点重合时，样本点和插值点之间的距离是0，此点的权重为1，而所有其他观测的权重0。因此，添加一个平滑参数是以防止这种情况的出现。当你指定一个非零的平滑参数，没有样本点给出了压倒性的重量，即没有一点是给定一个加权因子等于1。
反距离加权插值的一个特征是会产生“牛眼”围绕在样本点周围，添加平滑参数还可以减少牛眼效应。
基本页面中：
权重的冥决定权重减小的速度，随着权重冥接近0，插值面迅速接近平面。随着权重冥的增大，插值所产生的表面越来越近似最邻近点插值，形成的表面近似多边形。冥值可以是1.2e-038和1.0e + 038之间的任意数据，通常是1到3之间的数据。
平滑因子的参数允许您将一个“不确定性”的因素与你的输入数据相关。平滑因子参数越大，具有压倒性的权重的样本点出现的可能越小。
可以设置各向异性参数。比率(ratio),设置椭圆的长短轴的长度比例，即权重比例，角度(angle)设置椭圆旋转的角度。
“空间位置”页面设置需要插值的坐标点。
“查找”页面允许设置查找规则。
“边界和外壳”页面添加插值的边界和断层。
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克里金插值法，反距离加权插值，最近邻点插值，移动平均法，四面体线性插值法